离子束抛光加工镜面，效果不理想，粗糙度变大?

八宝粥

找别人用离子束抛光的方法加工镜面，材质为Cu，边缘一圈由于加工量比较大，
所以轰击时间比较久（去除量估计在几百nm级别），结果该区域本来很反光（粗糙度Rq~1 nm），
轰击后变得很粗糙，无镜面效果。请问这是因为什么原因造成的呢？因为轰击造成Cu结晶了？